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第五百六十四章 打破瓦森纳协定的封锁 (5 / 9)

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        尼康的牛逼之处,就是人家是产业链集合,所有的零件都能自己搞定。

        但是,在进入九十年代,光刻机的生产商碰到了一个技术关卡:光刻机使用的光源是193纳米的,它就限制了光刻机的继续升级!

        想要凋刻东西越精细,刀子就得越锋利,193纳米的激光已经不够细了,接下来该怎么办呢?

        尼康作...p;尼康作为科技巨头,想的办法也很简单,直接换用157纳米的F2激光,这样就能解决问题了。

        而为了对抗尼康成立的联盟则押注更激进的极紫外技术,将光源切换成十几纳米的极紫外光,这样不仅仅能解决现有的问题,还能一直用到以后,刻十纳米以下的芯片制程都没问题。

        但是,这两种技术都不容易,都面临着技术难关,这就是九十年代最出名的193纳米关卡!

        凡是遇到难关的时候,总是有天才出现的,现在也不例外,一个名叫林本坚的鬼才工程师出现了。

        当光线透过水之后,频率不变,但是波长会发生变化,这就是水的折射率,所以,只要在光刻机的光源和硅片之间加一层水,让原本的193纳米的激光发生一次折射,不就能大大地降低了吗?

        简单计算就能知道,波长会降低到132纳米!

        这样,不仅仅能降低了光刻机的波长,刻蚀更加精密的电路,而且,对机器的改动还最小!

        以前的就叫做干刻法,现在可以叫做湿刻法了!

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